Option: Endeffector exchange station
エンドイフェクター交換ステーション

オプションの全自動エンドイフェクター交換ステーションです。これを装備する事により複数のエンドイフェクターを全自動で持ち替え、一つの装置上で150mm、200mm,300mmなど様々なウェハーサイズ対応を可能にします。

オプションのOCRバーコード、数式コード認識用ウェハーIDリーダーです。
ウェハーの分類に必要です。