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Perlast(パーラスト 英国)製
シール、Oring 販売
半導体製造装置用 / 液晶製造装置用 / ソーラーパネル用
ゲートバルブ用ゲート
 Perlast Oring
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VAT社真空バルブ
VATバルブ全製品（OEM仕様含）の修理、O/H、中古販売、代替交換
64 series ゲートバルブ
65 series ペンデュラムバルブ
他
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AMAT製Centura/Endura真空ロボット
HP / HP+ /VHP / VHP+ / XP
修理、O/H、代替交換、中古販売
HP VHP 改良ロボットアーム
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EQUIPE TECHNOLOGIES / BROOKS PRI AUTOMATION
アライナー
修理、O/H、代替交換、中古販売
PRE-200 / PRE-200B / PRE-201 / PRE-300 / PRE-300B / PRE-301
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EQUIPE TECHNOLOGIES / BROOKS PRI AUTOMATION ロボット
修理、O/H、代替交換、中古販売
ATM-104, 105, 107, 107B
ATM-204, 205
ATM-305
ATM-405, 407, 407B, 407C
ABM-105, 107
ABM-405, 407, 407B |
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EQUIPE TECHNOLOGIES / BROOKS PRI AUTOMATION ロボットコントローラ
修理、O/H、代替交換、中古販売
ESC-100 / ESC-200 / ESC-201 / ESC-204 / ESC-212 / ESC-212B
EDC-2400/ EDC-2800BT
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BROOKS PRI AUTOMATION
真空ロボット
修理、O/H、代替交換、中古販売
MAG7 / MTR5 / VTR5
ATR /AQR
PRI系真空ロボット： VAC-407 / VAC-407-2A (Varian用)
液晶用搬送ロボット
MAG60 /MAG70 / MAG74
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BROOKS PRI AUTOMATION
ロボットアーム
修理、O/H、代替交換、中古販売
MAG7用アーム
MTR5用アーム
VTR5用アーム
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KLA Tencor
SFS6200 / SFS6220 / SFS6400 / SFS6420
トラブルシューティング、据付、定期調整、校正証明書の発行
レーザー、電源、セラミックパック等供給可能部品多数、高価なPCBボードも修理致します。
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JDS-Uniphase Arレーザー
レーザー電源
新品販売、代替交換のみ
KLA-Tencor
SFS6200 / SFS6220 / SFS6400 / SFS6420 / SFS7700 /
SP1 CLASSIC / SP1 TBI
Thermawave
TP420
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SMCバルブ修理
XGT200, XGT300シリーズ02-121427-00
60-149991-00
02-133793-00
60-133798-00
60-151975-00
XLD40, XLD50シリーズ
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AMATスリットバルブ
修理、O/H、代替交換、中古販売
AMAT P/N:
0010-20664,
0010-03057
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MKSバルブ修理
253B-16083, 253B-22666, 253B-15488, 253B-15415, 253B-15416, 253B-1-40-1,
253B-2-50, 253B-11203,
253B-16182, 253B-15488,
0190-12708, 0190-13021,
683B-26033, 683B-23795,
683B-24562, 683B-24617,
683B-2-50-2 |
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ASYST USAロボット
修理、O/H
※ 旧MECSロボットは修理不可です。
Model 21
Model 53
Model 54
Model 43
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