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デリクソンテクノロジージャパン株式会社では半導体装置、周辺機器の中古売買及び、半導体製造装置周辺機器のロボット、RF電源、マッチングボックス、VATバルブ等の修理サービスを行っております。
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Perlast(パーラスト 英国)製 
シール、Oring 販売


半導体製造装置用 / 液晶製造装置用 / ソーラーパネル用

ゲートバルブ用ゲート

Perlast Oring
VAT社真空バルブ

VATバルブ全製品(OEM仕様含)の修理、O/H、中古販売、代替交換

64 series ゲートバルブ
65 series ペンデュラムバルブ


AMAT製Centura/Endura真空ロボット



HP / HP+ /VHP / VHP+ / XP
修理、O/H、代替交換、中古販売


HP VHP 改良ロボットアーム
EQUIPE TECHNOLOGIES / BROOKS PRI AUTOMATION
アライナー


修理、O/H、代替交換、中古販売

PRE-200 / PRE-200B / PRE-201 / PRE-300 / PRE-300B / PRE-301
EQUIPE TECHNOLOGIES / BROOKS PRI AUTOMATION ロボッ

修理、O/H、代替交換、中古販売

ATM-104, 105, 107, 107B
ATM-204, 205
ATM-305
ATM-405, 407, 407B, 407C
ABM-105, 107
ABM-405, 407, 407B
EQUIPE TECHNOLOGIES / BROOKS PRI AUTOMATION ロボットコントローラ

修理、O/H、代替交換、中古販売

ESC-100 / ESC-200 / ESC-201 / ESC-204 / ESC-212 / ESC-212B
EDC-2400/ EDC-2800BT

BROOKS PRI AUTOMATION
真空ロボット


修理、O/H、代替交換、中古販売

MAG7 / MTR5 / VTR5
ATR /AQR

PRI系真空ロボット: VAC-407 / VAC-407-2A (Varian用)

液晶用搬送ロボット
MAG60 /MAG70 / MAG74

BROOKS PRI AUTOMATION
ロボットアーム


修理、O/H、代替交換、中古販売

MAG7用アーム
MTR5用アーム
VTR5用アーム

KLA Tencor
SFS6200 / SFS6220 / SFS6400 / SFS6420


トラブルシューティング、据付、定期調整、校正証明書の発行

レーザー、電源、セラミックパック等供給可能部品多数、高価なPCBボードも修理致します。

JDS-Uniphase Arレーザー
レーザー電源

新品販売、代替交換のみ

KLA-Tencor
SFS6200 / SFS6220 / SFS6400 / SFS6420 / SFS7700
/
SP1 CLASSIC / SP1 TBI
Thermawave
TP420


SMCバルブ修理


XGT200, XGT300シリーズ02-121427-00
60-149991-00
02-133793-00
60-133798-00
60-151975-00

XLD40, XLD50シリーズ
AMATスリットバルブ

修理、O/H、代替交換、中古販売

AMAT P/N:
0010-20664,
0010-03057
MKSバルブ修理

253B-16083, 253B-22666, 253B-15488, 253B-15415, 253B-15416, 253B-1-40-1,
253B-2-50, 253B-11203,
253B-16182, 253B-15488,
0190-12708, 0190-13021,
683B-26033, 683B-23795,
683B-24562, 683B-24617,
683B-2-50-2
ASYST USAロボット
修理、O/H
※ 旧MECSロボットは修理不可です。

Model 21
Model 53
Model 54
Model 43

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