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超薄型ウェハー対応 梱包、開梱装置 コインスタック(横置ウェハー、シッパーケース)式
Entegris、アキレス、EPAC、タッパー容器等への全自動梱包可能です。



PT300

超薄型ウェハーコインスタック(横置きウェハー)梱包、開梱装置

SEMI S2 S8準拠 CEj準拠
クリーンルーム Class10対応
スループット: 400枚/時間 以上
300mm FOUP対応

12インチ薄型ウェーハ梱包、開梱装置 PT300
PT300 動画はこちらから→


PT150/300

薄型ウェハーコインスタック(横置きウェハー)梱包、開梱装置(裏面接触タイプ)

150mm、200mm兼用型
複数コインスタック容器への取り分け可能
SEMI S2 S8準拠 CE準拠
クリーンルーム Class10対応
150枚/1時間のスループット
薄型ウェーハ梱包,開梱装置 PT150/200
裏面接触型シッパーケース梱包動画→


PT150/300 目視検査オプション付
超薄型ウェハーコインスタック(横置きウェハー)梱包、開梱装置(非接触タイプ)

SEMI S2 S8準拠 CE準拠
クリーンルーム Class10対応

目視検査オプション付梱包動画→

ベルヌーイ・バキュームエンドイフェクター方式を採用している為、すべての材質のインサートと超薄型ウェハーに対応します。内蔵センサーがウェハーの表裏、インサートを識別し、開梱時に的確に取り分けます。

複数のコインスタック容器への取り分けも可能。出荷先が違う場合でもウェハーIDを識別し、梱包容器へソーティング梱包致します。
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