HBr/NF3/O2 プラズマ耐久性ベンチマーク
（チャンバー内でのエッチングレート ※低い方が耐性に優れています。）
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Kimura K13X
- ドライエッチ用途のニーズに合わせて、
最適化されています。
- 塩素系のプラズマ環境下においても、優れたエッチレートを有し、シール寿命を延長することが出来ます。
- フィラーが一切含まれていない為、パーティクル汚染を最小限に抑えることが可能です。
- あわせ面への低固着性が、ハードウェアの分解を容易にします。
- 熱膨張率が少なく、既存の溝にそのまま使用できます。
- 高モジュラス、高耐摩耗性の為、ダイナミック用途に最適です（L-モーションゲートやドアシール）。
- 高温下での高強度、低摩擦係数がウェハハンドリング・コンポーネントに適しています。
PerlastR G67P およびG74P(FFKM)
- ウェットエッチとドライエッチの両用途で利用できる最高レベルの広範囲耐薬品性.
低エッチレート
- 完全フッ素化有機構造、超高純度
V74C フロロエラストマー(FKM)
.- 低圧縮永久歪み
- 優れた耐熱性
.- 過酷な熱サイクル下であっても、従来のFKMグレードよりも 著しく長い物理特性を保持.
サービスライフの延長
.- コストオブオーナーシップの低減
F70C ブルーフロロシリコンゴム(FVMQ)
- 優れた対費用効果
.- 優れた耐熱性
- 襲撃性の少ないプラズマ環境下に良好 |
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