The Modular System モジュールシステム

ウェハーサイズ６、８インチに対応　（12インチ向けも製作可能）
全自動でエンドイフェクターを持ち替え、6,8インチ混在での極薄ウェハー搬送フルオートメーションを実現。各種分析計、装置等と組み合わせモジュール化できます。
ローディング部分も特許ベルヌーイ・バキューム方式を採用している為、パターン部を下にしてもパターン部分に接触する事はありません。

下記写真TWH MCLはウェハー裏面をバックグラインダーで削った後のカセットと顕微鏡ローダー間の極薄ウェハー搬送を自動化したものです。
Mechatronic社のウェハー搬送・オートメーション技術は人の手でしか搬送できなかった超薄型ウェハーの搬送プロセスを改善します。