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デリクソンテクノロジージャパン株式会社では半導体装置、周辺機器の中古売買及び、半導体製造装置周辺機器のロボット、RF電源、マッチングボックス、VATバルブ等の修理サービスを行っております。
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米国Fabworx社
半導体製造装置の搬送ロボット信頼性改善（パーティクル、歩留まり対策）、スループット改善などに特化した製品を開発。AMAT社製　Endura, CenturaプラットフォームのHP、VHPロボットの改善パーティクル、ウェハー表面のスクラッチ（傷）を削減しスループットを改善します。

   
 HP / HP+ロボット改良型 VHP / VHP+ロボット改良型  Producerロボット改良型  300mm VHPロボット改良型 
       
 300mm VHPロボット 高温用  200mm HP/VHP Pivot改良型 VHP / XP Pivot改良型 改良型ブレード 
       
セラミックベアリング 特許　GEHブレード   HPロボットエルボー補強  


米国の半導体技術雑誌Solid State Technology掲載記事Reduced Wafer Scratches
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