The Endeffector エンドイフェクター

ベルヌーイ・バキューム エンドイフェクター方式（特許）により極薄ウェハーのコンタクトレス、高信頼搬送を実現しました。ベルヌーイ・バキュームを同時に使用による独自の層流ベルヌーイである為、乱流式のトルネード（竜巻）ベルヌーイのように極薄ウェハーへのマイクロクラーク（ひび、割れ）問題を発生させません。搬送する極薄ウェハーの安全性99.9%を誇ります。